AI需求飆升!ASML新光刻機(jī)直擊2nm芯片制造,尼康新品獲重大突破
AI需求飆升!ASML新光刻機(jī)直擊2nm芯片制造,尼康新品獲重大突破,尼康首發(fā)無掩模光刻系統(tǒng)DSP-100,專為先進(jìn)封裝FOPLP量身定制2024年7月,日本光刻設(shè)備巨頭尼康(Nikon)帶來重磅創(chuàng)新——全球首款專為半導(dǎo)體后道工藝開發(fā)的無掩模光刻系統(tǒng)DSP-100正式亮相。此設(shè)備主要面向先進(jìn)封裝領(lǐng)域,尤其為扇出型面板級(jí)封裝(FOPLP)所需的超大基板工藝提供關(guān)鍵支持,支持基板尺寸高達(dá)600mm,解析度可達(dá)1.0μmL/S(線寬/間距),憑借高精度、大尺寸和高產(chǎn)能的技術(shù)優(yōu)勢(shì),為下一代芯