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M-1100中文資料先進(jìn)能源工業(yè)數(shù)據(jù)手冊(cè)PDF規(guī)格書

M-1100
廠商型號(hào)

M-1100

功能描述

Fiber optic temperature sensing for semiconductor in etch and deposition applications

文件大小

305.37 Kbytes

頁(yè)面數(shù)量

4 頁(yè)

生產(chǎn)廠商 Advanced Energy Industries, Inc.
企業(yè)簡(jiǎn)稱

ADVANCEDENERGY先進(jìn)能源工業(yè)

中文名稱

先進(jìn)能源工業(yè)公司官網(wǎng)

原廠標(biāo)識(shí)
數(shù)據(jù)手冊(cè)

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更新時(shí)間

2025-2-28 17:35:00

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M-1100規(guī)格書詳情

TYPICAL APPLICATIONS

? Plasma etch, electrostatic chuck temperature

? Plasma etch, dielectric window or chamber lid temperature

? Microwave heating

? PEALD, PECVD electrostatic chuck

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